“光刻机”业务到底指的什么？苏大维格在投互平台的回复引来关注函

“什么？它不是做激光雕刻机雕刻金属板的吗，居然能造芯片了？”

9月14日午间，苏大维格（300331.SZ）在投资者互动平台称，“公司光刻机已实现向国内龙头芯片企业的销售，并已实现向日本、韩国、以色列等国家的出口；同时，公司向国内相关芯片光刻机厂商提供了定位光栅尺部件。”公司股价随即涨停。

这一事件也引发了监管的关注，15日，深交所向苏大维格下发关注函。

在关注函中，深交所要求苏大维格补充披露公司所生产光刻设备的具体类型、主要客户及下游用途，以及最近一年一期境内外销售情况，并核实说明公司光刻设备是否能够直接用于芯片研发及制造、主要技术参数是否与业内龙头厂商存在较大差距，并进一步提示相关风险。

苏大维格此次在互动平台上的发言，或有“蹭热点”之嫌。对此，深交所还要求苏大维格核实说明控股股东、实际控制人，董事、监事、 高级管理人员及其直系亲属、持股5%以上股东近1个月买卖公司股票情况，并披露未来3个月内是否存在减持计划。

资料显示，苏大维格主营微纳光学产品的设计、开发与制造服务，其智能装备业务包括了直写光刻、3D光刻、投影/扫描光刻、纳米压印光刻设备等。公司在2023年半年度报告中介绍称，公司正开发投影式光刻设备在光伏铜电镀图形化设备以及直写光刻在芯片掩模板和IC载板等领域的应用，半年报里并未提及芯片光刻机相关的研发以及应用。

9月14日晚间，苏大维格在互动平台上对公司的“光刻机”业务做了进一步解释。

苏大维格表示，在大类上，光刻机主要有两种类型。第一类是掩摸光刻机，如ASLM的EUV设备，好比“复印机”，把掩摸上的图形投射到硅片上，可用于各类芯片的批量生产，这类光刻机技术工艺和材料难度极高。

第二类是无掩摸光刻机，也称直写光刻机，包括激光直写光刻机和电子束光刻机等，用于直接将数据转变成相关图形，好比“打印机”，可用于芯片/液晶掩摸、光模具及其他微结构的制备。

苏大维格表示，目前，公司对外销售的光刻机主要为激光直写光刻机，其中在科研教育领域具有一定的知名度和市场占有率，在其他行业和领域已实现的销售金额相对较小，部分应用领域离国际先进水平具有一定差距，需要持续的研发投入；纳米压印光刻领域，公司设备主要为自用，对外销售金额与直写光刻机相比较小；此外，公司也开发了投影扫描的光刻设备，拟应用于光伏电镀铜图形化领域，目前尚未实现销售。

银柿财经注意到，在苏大维格的官网介绍上，其子公司苏州迈塔光电科技有限公司主营产品包括光学装饰膜、光学功能性元器件、微结构材料与器件等，迈塔光电致力于材料表面100纳米到100微米的结构设计及制造，通过不同结构纹理的设计达到丰富的视觉效果。

对于公司在光刻机领域具体有哪些进展，银柿财经多次拨通苏大维格总机，但在转接证券部后均无人接听。